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本篇文章給大家談?wù)劃崈糗?chē)間裝修設(shè)計(jì)說(shuō)明，以及潔凈車(chē)間工程設(shè)計(jì)對(duì)應(yīng)的知識(shí)點(diǎn)，希望對(duì)各位有所幫助，不要忘了收藏本站喔。

本文目錄一覽：

• 1、無(wú)塵車(chē)間工程裝修要多久？
• 2、辦公空間設(shè)計(jì)說(shuō)明 設(shè)計(jì)理念介紹
• 3、潔凈凈化車(chē)間的潔凈度等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)？
• 4、無(wú)塵車(chē)間通風(fēng)工程要求高嗎
• 5、無(wú)塵車(chē)間等級(jí)之間的劃分及等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)
• 6、無(wú)塵車(chē)間的安全要求

無(wú)塵車(chē)間工程裝修要多久？

無(wú)塵車(chē)間工程裝修一般需要一個(gè)月左右。

無(wú)塵車(chē)間裝修最快要多少天，主要要看你車(chē)間什么級(jí)別，裝修要求高不高。如果很?chē)?yán)格，有溫濕度要求，那么對(duì)空調(diào)的選用也就樣。一般空調(diào)設(shè)備的時(shí)間稍微長(zhǎng)，如果快的話1個(gè)月左右，當(dāng)然中間還要看雙方配合，如果有一方因其他原因耽擱可能就不只是一個(gè)月了。

在裝修的時(shí)候應(yīng)該找一家靠譜的公司，曼克斯公司主要業(yè)務(wù)方向：江蘇、上海、浙江、安徽等省市。公司本著“因?yàn)閷?zhuān)注所以專(zhuān)業(yè)、因?yàn)閷?zhuān)業(yè)所以卓越”的理念，憑借超前的設(shè)計(jì)構(gòu)思、合理的預(yù)算報(bào)價(jià)、精良的施工工藝，優(yōu)質(zhì)的全程服務(wù)，真誠(chéng)的為每一家企業(yè)量身定制匹配的辦公空間及生產(chǎn)環(huán)境。

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辦公空間設(shè)計(jì)說(shuō)明 設(shè)計(jì)理念介紹

設(shè)計(jì)理念之源“人性化設(shè)計(jì)”現(xiàn)代辦公空間著重體現(xiàn)工作與生活的有機(jī)融合?！皞€(gè)性化設(shè)計(jì)”在企業(yè)整體形象上其獨(dú)特的個(gè)性直接影響著每一個(gè)員工的行為舉止,個(gè)性化辦公空間非常重要的一點(diǎn)就是展現(xiàn)企業(yè)形象,滿(mǎn)足企業(yè)精神和發(fā)展理念。下面小編為大家介紹辦公空間設(shè)計(jì)說(shuō)明以及設(shè)計(jì)理念!

辦公室設(shè)計(jì)主題?“靈透之材，蓬勃之勢(shì)”為主題，本案就其“鋼之靈透”,用象征化的表現(xiàn)手法，多元化的設(shè)計(jì)元素，力求整體風(fēng)格與整棟大樓協(xié)調(diào)、清新、大氣的外觀設(shè)計(jì)保持一致，企業(yè)氣質(zhì)內(nèi)外渾然一體，展現(xiàn)出富有深刻內(nèi)涵的視覺(jué)空間及該企業(yè)獨(dú)特的個(gè)性與特點(diǎn)，將機(jī)械制造行業(yè)復(fù)蘇這一時(shí)代特性滲透于整個(gè)空間，既突顯陽(yáng)剛的機(jī)械制造企業(yè)特質(zhì)，又蘊(yùn)涵貴公司新興而極具沖擊力的蓬勃發(fā)展之勢(shì)!

設(shè)計(jì)理念表達(dá)圍繞其“靈透”,設(shè)計(jì)師在本案中大量使用了玻璃、銀色系列及淺色調(diào)的潔凈材料,如玻璃幕墻、銀質(zhì)鋁塑板、水晶白麻石材、?；u等，圍繞本案主題,構(gòu)筑個(gè)性化空間,該色彩搭配除了清透、雅致、穩(wěn)重、大氣之外,亦表現(xiàn)出一種力度感和效率感。滲透入貴機(jī)械制造企業(yè)之“清透感”,亦反襯企業(yè)之“柔美感”。

前臺(tái)前廳設(shè)計(jì)說(shuō)明

首先闖入眼簾的是企業(yè)形象墻,以其企業(yè)文化的新興、蓬勃、嚴(yán)謹(jǐn)為主題，兩側(cè)以“居有竹、步步高”的銀色墻柱帶來(lái)視覺(jué)沖擊感，加上企業(yè)形象色的類(lèi)比色、淺色石材及不銹鋼條的運(yùn)用，顯示出金屬的質(zhì)感和工業(yè)文明的主題;華堂上方呼應(yīng)以直線為主調(diào)、大筆勾勒而出的時(shí)尚型弧面吊頂，大直大方顯示出強(qiáng)烈的縱深感，加之以清透、明媚的光色渲染，工整氣派、大家風(fēng)范，反襯出貴公司辦公樓的現(xiàn)代時(shí)尚特性，以干練快捷的設(shè)計(jì)節(jié)奏，展示出質(zhì)量與效率并舉的時(shí)代精神。

走道設(shè)計(jì)說(shuō)明

由于原走道較長(zhǎng),?為突顯建筑開(kāi)間較舒適之優(yōu)點(diǎn),設(shè)計(jì)師特意設(shè)計(jì)了過(guò)道各柱體間鑲嵌不銹鋼條及玻璃幕墻上的磨砂條來(lái)點(diǎn)綴的裝修主題,同時(shí),地面用拼花色帶打破，與方正而美觀的吊頂上下呼應(yīng);辦公室靠近走道的墻面,為將自然光透入走道,同時(shí)又加強(qiáng)其“靈透”感,采用清玻幕墻，幕墻上的磨砂條既打破了玻璃墻面的呆板，又提醒了行人幕墻的存在，防止無(wú)意識(shí)碰頭、沖撞等類(lèi)似意外發(fā)生;為辦公室的后續(xù)私密性考慮,其清玻幕墻內(nèi)掛以百葉窗遮擋既可。

接待廳設(shè)計(jì)說(shuō)明

在接待室的處理上,特設(shè)計(jì)了可向客戶(hù)展示企業(yè)榮譽(yù)品的展示墻，用料實(shí)際，無(wú)須雕琢張揚(yáng)，直線條的造型讓整個(gè)空間顯得穩(wěn)重大方，淺色系材料的運(yùn)用延續(xù)了靈動(dòng)而清澈的氣韻，大方莊重卻內(nèi)含現(xiàn)代時(shí)尚。而且色調(diào)淡雅的地毯、沙發(fā)、背景，還突出了接待廳親切、和睦、寬松的氛圍，使穩(wěn)靜而坦誠(chéng)的晤談氣氛盎然一室。

會(huì)議室多功能廳設(shè)計(jì)說(shuō)明

環(huán)環(huán)相扣的圓弧頂面造型，層層遞近的燈具圍繞圓型屋頂向外拓展，突出空間的立體造型感，也使天花燈飾顯出碧玉般通透潤(rùn)澤的光影。設(shè)計(jì)成舞臺(tái)平臺(tái)的主席臺(tái)具備多功能的特點(diǎn)，可兼顧各類(lèi)舞臺(tái)表演及大型會(huì)場(chǎng)會(huì)議的組織。粗曠沉穩(wěn)的圓形大立柱及方柱，頗具雄偉之勢(shì)，但是考慮到其在大型場(chǎng)地內(nèi)的阻礙性問(wèn)題，故不將此做再多修飾，僅僅以真石漆的噴涂來(lái)達(dá)到既不擴(kuò)大柱圍又美化柱體的作用;地面以座位的安排為向?qū)?，輔以簡(jiǎn)易直紋拼花來(lái)點(diǎn)綴。

員工辦公區(qū)設(shè)計(jì)說(shuō)明

簡(jiǎn)潔的裝飾語(yǔ)言，對(duì)稱(chēng)的空間布局，規(guī)范方整、功能健全，與環(huán)境形成交流，最終達(dá)成默契，突出了現(xiàn)代辦公環(huán)境講究效率的特征。

總經(jīng)理辦公室設(shè)計(jì)說(shuō)明

在考慮總經(jīng)理的辦公室空間布局時(shí)，因?qū)λ麨槿藝?yán)謹(jǐn)、負(fù)責(zé)、勤儉的優(yōu)良品行有所了解，特摒棄了一切繁文縟節(jié)的矯飾，一切盡在實(shí)用、明快而流暢的格局中;配合現(xiàn)代辦公環(huán)境的追求，設(shè)置實(shí)用與展示性相結(jié)合的整墻書(shū)柜，旁倚商務(wù)型老板桌，既陳設(shè)精雅、品味清亮、格調(diào)一致，又可于繁忙后賞窗外風(fēng)光、待客會(huì)友;簡(jiǎn)潔的吊頂，照顧到了辦公、會(huì)客區(qū)的燈光劃分。

董事長(zhǎng)辦公室設(shè)計(jì)說(shuō)明

因?yàn)榭臻g較其他辦公室寬敞，加之衛(wèi)生間門(mén)的開(kāi)向正對(duì)室內(nèi)，特設(shè)計(jì)了展示性隔斷柜,加強(qiáng)其辦公、會(huì)客及生活的區(qū)域性，既做到了空間上的劃分，又可通過(guò)展示柜內(nèi)的擺設(shè)輔助室內(nèi)布置呈現(xiàn)事業(yè)風(fēng)貌及個(gè)人雅興，體現(xiàn)其穩(wěn)重而時(shí)尚的人性化的特點(diǎn)。

以上就是關(guān)于辦公室空間設(shè)計(jì)的全部介紹，辦公空間絕不僅是指辦公室之類(lèi)的孤立空間，還包括供機(jī)關(guān)、商業(yè)、企事業(yè)單位等辦理行政事物和從事業(yè)務(wù)活動(dòng)的辦公環(huán)境系統(tǒng)。因此，辦公空間設(shè)計(jì)包含的內(nèi)容十分豐富，辦公室設(shè)計(jì)中所需要考慮的因素也較為復(fù)雜，為了更好地把握辦公室設(shè)計(jì)中的規(guī)律，辦公空間設(shè)計(jì)首先需進(jìn)行簡(jiǎn)單的分類(lèi)。

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潔凈凈化車(chē)間的潔凈度等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)？

凈化車(chē)間又叫無(wú)塵車(chē)間潔凈車(chē)間裝修設(shè)計(jì)說(shuō)明，無(wú)塵車(chē)間可以分為以下六個(gè)級(jí)別:十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間、萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間、千級(jí)無(wú)塵車(chē)間、百級(jí)無(wú)塵車(chē)間、十級(jí)無(wú)塵車(chē)間、一級(jí)無(wú)塵車(chē)擴(kuò)展資料潔凈車(chē)間裝修設(shè)計(jì)說(shuō)明：100000級(jí)十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間用于很多的工業(yè)部門(mén)潔凈車(chē)間裝修設(shè)計(jì)說(shuō)明，比如光學(xué)產(chǎn)品的制造，用于較小的元器件制造大型的電子系統(tǒng)，液壓或氣壓系統(tǒng)的制造，食品飲料的生產(chǎn)，醫(yī)、藥工業(yè)也常常使用這一級(jí)無(wú)塵車(chē)間。10000級(jí)萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的裝配，某些情況下也用于食品飲料工業(yè)，此外，萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間在醫(yī)工業(yè)中也很常用。1000級(jí)這個(gè)級(jí)別的無(wú)塵車(chē)間主要用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn)，還用于測(cè)試，裝配飛機(jī)蛇螺儀，裝配高質(zhì)微型軸承等。100級(jí)很多人認(rèn)為，這一級(jí)無(wú)塵車(chē)間是最常用因而是最重要的無(wú)塵車(chē)間，人們常常錯(cuò)誤地將100級(jí)潔凈室稱(chēng)為無(wú)菌室，以說(shuō)明“無(wú)菌”的或“無(wú)塵”的環(huán)境要求。100級(jí)無(wú)塵室可用于醫(yī)藥工業(yè)的無(wú)菌制造工藝等，這一潔凈室大量應(yīng)用于，植入體內(nèi)物品的制造，外科手術(shù)，包括移植手術(shù)，集成器的制造，那些對(duì)細(xì)菌感染特別敏感的病人的隔離治比如像骨髓移植病人術(shù)后的隔離治療。10級(jí)這個(gè)級(jí)別的無(wú)塵車(chē)間主要用于帶寬小于 2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。1級(jí)這個(gè)級(jí)別的無(wú)塵車(chē)間主要用于制造集成電路的微電子工 業(yè)，對(duì)集成電路的精確要求為亞微米。

一般在凈化室是有等級(jí)的，選用多種多樣工藝流程實(shí)際操作時(shí)，應(yīng)依據(jù)各工藝流程不一樣的規(guī)定，選用不一樣的氣體潔凈度等級(jí)，根據(jù)工藝流程規(guī)定明確等級(jí)。醫(yī)藥業(yè)藥生產(chǎn)制造工藝流程的清潔級(jí)別和潔凈區(qū)的劃分，應(yīng)參考《藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范》中中藥制劑和原輔料加工工藝內(nèi)容及自然環(huán)境地區(qū)劃分而定。藥物生產(chǎn)制造凈化室的氣體潔凈度劃分為四個(gè)等級(jí)。在考慮生產(chǎn)工藝流程規(guī)定的前提條件下，最先應(yīng)選用低清潔等級(jí)的清潔濕或部分空氣過(guò)濾潔凈車(chē)間裝修設(shè)計(jì)說(shuō)明；次之可選用部分工作中地區(qū)空氣過(guò)濾和第等級(jí)全省空氣過(guò)濾緊密結(jié)合或選用全方位空氣過(guò)濾。清潔房間內(nèi)規(guī)定：氣體潔凈度等級(jí)高的工藝流程應(yīng)布局在上風(fēng)側(cè)，易造成環(huán)境污染的工藝技術(shù)應(yīng)布局在挨近送風(fēng)口部位；清潔車(chē)間的平面圖和室內(nèi)空間設(shè)計(jì)，應(yīng)考慮生產(chǎn)工藝流程各氣體潔凈度的規(guī)定，潔凈區(qū)、工作人員清潔、原材料清潔和別的輔助用地要分區(qū)布局。另外應(yīng)考慮到生產(chǎn)制造實(shí)際操作、工藝技術(shù)安裝與檢修、管道布局、氣旋流形及其空調(diào)凈化系統(tǒng)軟件各種各樣技術(shù)性設(shè)備的綜合性融洽。為保證 房間內(nèi)的潔凈度，把應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)、中央空調(diào)的標(biāo)準(zhǔn)等做為更為基礎(chǔ)的內(nèi)容，在充分考慮工作性和氣旋情況后再給予明確。在結(jié)構(gòu)需要有提前準(zhǔn)備室、更衣間、清理室、休息區(qū)、管理室等。做為房間內(nèi)的清潔化氣旋方法，有豎直層.流式、水準(zhǔn)層.流式、非層.流式。在其中，究竟應(yīng)用哪一種方法，要依據(jù)潔凈度的級(jí)別及應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)來(lái)決策。

根據(jù)區(qū)域環(huán)境、凈化程度等因素，凈化車(chē)間可為若干等級(jí)。一般來(lái)說(shuō)，數(shù)值越小，代表凈化級(jí)別越高。即百級(jí)千級(jí)萬(wàn)級(jí)十萬(wàn)級(jí)三十萬(wàn)級(jí)。以最常見(jiàn)的十萬(wàn)級(jí)凈化車(chē)間來(lái)說(shuō)，指的就是空氣潔凈度為十萬(wàn)級(jí)的潔凈車(chē)間。

無(wú)塵凈化車(chē)間潔凈度級(jí)別：百級(jí)千級(jí)萬(wàn)級(jí)十萬(wàn)級(jí)三十萬(wàn)級(jí)也就是說(shuō)值越小，凈化級(jí)別就越高。潔凈度越高造價(jià)就越高。無(wú)塵車(chē)間的凈化潔凈度根據(jù)生產(chǎn)工藝要求，需選合適的級(jí)別。

你是怎么分的按高中低三個(gè)檔次來(lái)分的，經(jīng)過(guò)三個(gè)環(huán)節(jié)，最后才可以把它凈化干凈。

無(wú)塵車(chē)間通風(fēng)工程要求高嗎

一、材料要求

無(wú)塵潔凈車(chē)間的設(shè)計(jì)與施工當(dāng)中除潔凈車(chē)間裝修設(shè)計(jì)說(shuō)明了包含施工要素以外潔凈車(chē)間裝修設(shè)計(jì)說(shuō)明，更重要的是前期的設(shè)計(jì)準(zhǔn)備。首先選擇通風(fēng)管道材料時(shí)要尤其謹(jǐn)慎，要求金屬通風(fēng)管道的材料及規(guī)格等均符合國(guó)家相關(guān)規(guī)定，但往往一些管道材料設(shè)計(jì)時(shí)并無(wú)規(guī)定，此時(shí)應(yīng)嚴(yán)格按照“規(guī)范”進(jìn)行執(zhí)行。

二、保溫材料要達(dá)到防火等級(jí)

先進(jìn)的無(wú)塵潔凈車(chē)間在設(shè)計(jì)與施工中的風(fēng)管的保溫材料厚度也需要更加注意，因?yàn)槠浜穸群头阑鸬燃?jí)共同促成了風(fēng)管保溫材料性能。選擇風(fēng)管的保溫材料時(shí)不僅要注意檢測(cè)部門(mén)的檢驗(yàn)報(bào)告而且還要注意潔凈風(fēng)管的防火等級(jí)，這樣可能會(huì)遺留下安全隱患產(chǎn)生后續(xù)問(wèn)題。

三、配部件的氣密性

無(wú)塵潔凈車(chē)間的設(shè)計(jì)與施工中需要有大量的部件，如果配部件的氣密性和剛性不達(dá)標(biāo)，不但使壽命大幅的影響而且失去了潔凈廠房的潔凈功能；施工過(guò)程當(dāng)中甚至要檢查靜壓箱體的材質(zhì)及風(fēng)閥的氣密性，這均是要保證配件的氣密性達(dá)標(biāo)。

潔凈廠房的設(shè)計(jì)與施工完成之后還需要對(duì)設(shè)計(jì)的設(shè)備進(jìn)行報(bào)檢，報(bào)檢工作當(dāng)中首先檢查外觀是否完整，設(shè)備產(chǎn)品說(shuō)明是否完整?？偠灾疂崈魪S房的設(shè)計(jì)與施工要比普通設(shè)計(jì)嚴(yán)苛數(shù)倍，無(wú)論是施工人員或者監(jiān)理人員都要尤其重視。

無(wú)塵車(chē)間等級(jí)之間的劃分及等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)

無(wú)塵車(chē)間的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)、尖端技術(shù)緊密的聯(lián)系在一起。目前在生物制藥、醫(yī)療衛(wèi)生、食品日化、電子光學(xué)、能源、精密器械等行業(yè)運(yùn)用已經(jīng)相當(dāng)?shù)钠毡榍页墒?。無(wú)塵車(chē)間分為幾個(gè)等級(jí)潔凈車(chē)間裝修設(shè)計(jì)說(shuō)明，分別為1級(jí)≥百級(jí)級(jí)≥千級(jí)級(jí)≥萬(wàn)級(jí)≥十萬(wàn)級(jí)≥百萬(wàn)級(jí)潔凈車(chē)間裝修設(shè)計(jì)說(shuō)明，越排在前面，級(jí)別越高，1級(jí)是級(jí)別最高的。最常見(jiàn)的是百級(jí)到十萬(wàn)級(jí)，不同等級(jí)還有著不同的等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。

空氣潔凈度等級(jí)：

潔凈空間單位體積空氣中，以大于或等于被考慮粒徑的粒子最大濃度限值進(jìn)行劃分的等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。國(guó)內(nèi)按空態(tài)、靜態(tài)、動(dòng)態(tài)對(duì)無(wú)塵車(chē)間進(jìn)行測(cè)試、驗(yàn)收，符合《GB50073-2013 潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》、《GB50591-2010 潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》。

潔凈度和控制污染的持續(xù)穩(wěn)定性，是檢驗(yàn)無(wú)塵車(chē)間質(zhì)量的核心標(biāo)準(zhǔn)，該標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)區(qū)域環(huán)境、潔凈程度等因素，分為若干等級(jí)，常用的有國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)和國(guó)內(nèi)區(qū)域行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。

ISO14644-1國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)—空氣潔凈度等級(jí)劃分

GB50073-2013 國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)—空氣潔凈度等級(jí)

中國(guó)GMP（2010年修訂）

新版GMP附錄1 無(wú)菌藥品.第三章.第九條……潔凈區(qū)各級(jí)別空氣懸浮粒子的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定如下:

各國(guó)潔凈度等級(jí)近似對(duì)照表

無(wú)塵車(chē)間（潔凈室）等級(jí)說(shuō)明：

等級(jí)定義的模式如下：

Class X (at Y μm )

其中X是無(wú)塵室的等級(jí)，例如100或10000等等，Y是粒徑如0.2μm , 0.5μm等，可復(fù)選。意思就是使用者規(guī)定，該無(wú)塵室微粒含量，在這些粒徑必須滿(mǎn)足該等級(jí)的限度。這樣可以減少紛爭(zhēng)，以下是幾個(gè)例子：

Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)

Class 100(0.2μm , 0.5μm )

Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )

在Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100，1000，10000....)，一般看一個(gè)粒徑即可。在Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10，1.... )，一般要看多幾個(gè)粒徑。

第二個(gè)技巧是規(guī)定無(wú)塵室的狀態(tài)，例如：

Class X (at Y μm )，At-rest

供貨商就很清楚知道無(wú)塵室要在At-rest狀態(tài)下驗(yàn)收。

第三個(gè)技巧是自訂微粒濃度上限，一般在As-built時(shí)無(wú)塵室都很干凈，微?？刂颇芰y(cè)試不易，這時(shí)可以干脆把驗(yàn)收上限壓低，例如：

Class 10000 (0.3 μm = 10000)，As-built

Class 10000 (0.5 μm = 1000)，As-built

這樣做的目的是確保無(wú)塵室在Operational狀態(tài)時(shí)，依然有足夠的微?？刂颇芰?。

潔凈室案例圖集:

1、半導(dǎo)體行業(yè):

黃光車(chē)間多建在百級(jí)潔凈區(qū)，千級(jí)潔凈區(qū)也有涉及

2、半導(dǎo)體潔凈室（高架地板）常應(yīng)用于百級(jí)和千級(jí)區(qū)域:

3、常規(guī)半導(dǎo)體潔凈室（潔凈區(qū)：萬(wàn)級(jí)至十萬(wàn)級(jí)）：

4、常規(guī)潔凈室：

無(wú)塵車(chē)間的安全要求

一、無(wú)塵室須知

1. 進(jìn)入無(wú)塵室前，必須知會(huì)管理人，并通過(guò)基本訓(xùn)練。

2. 進(jìn)入無(wú)塵室嚴(yán)禁吸煙，吃(飲)食，外來(lái)雜物(如報(bào)章，雜志，鉛筆...等)不可攜入，并嚴(yán)禁嘻鬧奔跑及團(tuán)聚談天。

3. 進(jìn)入無(wú)塵室前，需在規(guī)定之處所脫鞋，將鞋置于鞋柜內(nèi)，外衣置于衣柜內(nèi)，私人物品置于私人柜內(nèi)，柜內(nèi)不可放置食物。

4.進(jìn)入無(wú)塵室須先在更衣室，將口罩，無(wú)塵帽，無(wú)塵衣以及鞋套按規(guī)定依程序穿戴整齊，再經(jīng)空氣洗塵室洗塵，并踩踏除塵地毯(洗塵室地板上)方得進(jìn)入。

5. 戴口罩時(shí)，應(yīng)將口罩戴在鼻子之上，以將口鼻孔蓋住為原則，以免呼吸時(shí)污染芯片。

6. 穿著無(wú)塵衣，無(wú)塵帽前應(yīng)先整理服裝以及頭發(fā)，以免著上無(wú)塵衣后，不得整理又感不適。

7. 整肅儀容后，先戴無(wú)塵帽，無(wú)塵帽的穿戴原則系:

(1)頭發(fā)必須完全覆蓋在帽內(nèi)，不得外露。

(2)無(wú)塵帽之下擺要平散于兩肩之上，穿上工作衣后，方不致下擺脫出，裸露肩頸部。

8.無(wú)塵帽戴妥后，再著無(wú)塵衣，無(wú)塵衣應(yīng)尺吋合宜，才不致有褲管或衣袖太短而裸露皮膚之虞，穿衣時(shí)應(yīng)注意帽之下擺應(yīng)保平整之狀態(tài)，無(wú)塵衣不可反穿。

9. 穿著無(wú)塵衣后，才著鞋套，拉上鞋套并將鞋套整平，確實(shí)蓋在褲管之上。

10. 戴手套時(shí)應(yīng)避免以光手碰觸手套之手掌及指尖處(防止鈉離子污染)，戴上手套后，應(yīng)將手套之手腕置于衣袖內(nèi)，以隔絕污染源。

11. 無(wú)塵衣著妥后，經(jīng)洗塵，并踩踏除塵毯，方得進(jìn)入無(wú)塵室。

12. 不論進(jìn)入或離開(kāi)無(wú)塵室，須按規(guī)定在更衣室脫無(wú)塵衣，不可在其它區(qū)域?yàn)橹?，尤不可在無(wú)塵室內(nèi)邊走邊脫。

13. 無(wú)塵衣，鞋套等，應(yīng)定期清洗，有破損，脫線時(shí)，應(yīng)即換新。

14. 脫下無(wú)塵衣時(shí)，其順序與穿著時(shí)相反。

15. 脫下之無(wú)塵衣應(yīng)吊好，并放于更衣室內(nèi)上層柜子中;鞋套應(yīng)放置于吊好的無(wú)塵衣下方。

16. 更衣室內(nèi)小柜中，除了放置無(wú)塵衣等規(guī)定物品外，不得放置其它物品。

17. 除規(guī)定紙張及物品外，其它物品一概不得攜入無(wú)塵室。

18. 無(wú)塵衣等不得攜出無(wú)塵室，用畢放置于規(guī)定處所。

19. 口罩與手套可視狀況自行保管或重復(fù)使用。

20. 任何東西進(jìn)入無(wú)塵室，必須用灑精擦拭干凈。

21. 任何設(shè)備的進(jìn)入，請(qǐng)知會(huì)管理人，在無(wú)塵室外擦拭干凈，方可進(jìn)入。

22. 未通過(guò)考核之儀器，禁止使用，若遇緊急情況，得依緊急處理步驟作適當(dāng)處理，例如關(guān)閉水、電、氣體等開(kāi)關(guān)。

23. 無(wú)塵室內(nèi)絕對(duì)不可動(dòng)火，以免發(fā)生意外。

二、無(wú)塵室操作須知

1. 處理芯片時(shí)，必須戴上無(wú)纖維手套，使用清洗過(guò)的干凈鑷子挾持芯片，請(qǐng)勿以手指或其它任何東西接觸芯片，遭碰觸污染過(guò)的芯片須經(jīng)清洗，方得繼續(xù)使用：

(1) 任何一支鑷子前端(即挾持芯片端)如被碰觸過(guò)，或是鑷子掉落地上，必須拿去清洗請(qǐng)勿用紙巾或布擦拭臟鑷子。

(2) 芯片清洗后進(jìn)行下一程序前，若被手指碰觸過(guò)，必須重新清洗。

(3)把芯片放置于石英舟上，準(zhǔn)備進(jìn)爐管時(shí)，若發(fā)現(xiàn)所用鑷子有污損現(xiàn)象或芯片上有顯眼由鑷子所引起的污染，必須將芯片重新清洗，并立即更換干凈的鑷子使用。

2. 芯片必須放置盒中，蓋起來(lái)存放于規(guī)定位置，盡可能不讓它暴露。

3.避免在芯片上談話，以防止唾液濺于芯片上，在芯片進(jìn)擴(kuò)散爐前，請(qǐng)?zhí)貏e注意，防止上述動(dòng)作產(chǎn)生，若芯片上沾有纖維屑時(shí)，用氮?dú)鈽寚娭?/p>

4. 從鐵弗龍(Teflon)晶舟，石英舟(QuartzBoat)等載具(Carrier)上，取出芯片時(shí)，必須垂直向上挾起，避免刮傷芯片，顯微鏡鏡頭確已離芯片，方可從吸座上移走芯片。

5. 芯片上，若已長(zhǎng)上氧化層，在送黃光室前切勿用鉆石刀在芯片上刻記。

6. 操作時(shí)，不論是否戴上手套，手絕不能放進(jìn)清洗水槽。

7. 使用化學(xué)站或烤箱處理芯片時(shí)，務(wù)必將芯片置放于鐵弗龍晶舟內(nèi)，不可使用塑料盒。

8. 擺置芯片于石英舟時(shí)，若芯片掉落地上或手中則必須重新清洗芯片，然后再進(jìn)氧化爐。

9. 請(qǐng)勿觸摸芯片盒內(nèi)部，如被碰觸或有碎芯片污染，必須重作清洗。

10. 手套，廢紙及其它雜碎東西，請(qǐng)勿留置于操作臺(tái)，手套若燒焦、磨破或纖維質(zhì)變多必須換新。

11. 非經(jīng)指示，絕不可開(kāi)啟不熟悉的儀器及各種開(kāi)關(guān)閥控制鈕或把手。

12. 奇怪的味道或反應(yīng)異常的溶液，顏色，聲響等請(qǐng)即通知相關(guān)人員。

13. 儀器因操作錯(cuò)誤而有任何損壞時(shí)，務(wù)必立刻告知負(fù)責(zé)人員或老師。

14. 芯片盒進(jìn)出無(wú)塵室須保持干凈，并以保鮮膜封裝，違者不得進(jìn)入。

15. 無(wú)塵室內(nèi)一律使用原子筆及無(wú)塵筆記本做記錄，一般紙張與鉛筆不得攜入。

三、黃光區(qū)操作須知

1. 濕度及溫度會(huì)影響對(duì)準(zhǔn)工作，在黃光區(qū)應(yīng)注意溫度及濕度，并應(yīng)減少對(duì)準(zhǔn)機(jī)附近的人，以減少濕、溫度的變化。

2. 上妥光阻尚未曝光完成之芯片，不得攜出黃光區(qū)以免感光。

3. 己上妥光阻，而在等待對(duì)準(zhǔn)曝光之芯片，應(yīng)放置于不透明之藍(lán)黑色晶盒之內(nèi)， 盒蓋必須蓋妥。

4. 光罩使用時(shí)應(yīng)持取邊緣，不得觸及光罩面，任何狀況之下，光罩鉻膜不得與他物接觸，以防刮傷，光罩之落塵可以氮?dú)鈽尨抵?/p>

5. 曝光時(shí)，應(yīng)避免用眼睛直視曝光機(jī)汞燈。

四、鑷子使用須知

1. 進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室后，應(yīng)先戴上手套后，再取鑷子，以免沾污。

2. 唯有使用干凈的鑷子，才可持取芯片，鑷子一旦掉在地上或被手觸碰，或因其它原因而遭污染，必須拿去清洗，方可再使用。

3. 鑷子使用后，應(yīng)放于各站規(guī)定處，不可任意放置，如有特殊制程用鑷子，使用后應(yīng)自行保管，不可和實(shí)驗(yàn)室內(nèi)各站之鑷子混合使用。

4. 持鑷子應(yīng)采"握筆式"姿勢(shì)挾取芯片。

5. 挾取芯片時(shí)，順序應(yīng)由后向前挾取，放回芯片時(shí)，則由前向后放回，以免刮傷芯片表面。

6. 挾取芯片時(shí)，"短邊" (鋸狀頭)置于芯片正面，"長(zhǎng)邊" (平頭)置于芯片背面，挾芯片空白部分，不可傷及芯片。

7. 嚴(yán)禁將鑷子接觸酸槽或D.I Water水槽中。

8. 鑷子僅可做為挾取芯片用，不準(zhǔn)做其它用途。

五、化學(xué)藥品使用須知

1. 化學(xué)藥品的進(jìn)出須登記，并知會(huì)管理人，并附上物質(zhì)安全資料表（MSDS）于實(shí)驗(yàn)室門(mén)口。

2. 使用化學(xué)藥品前，請(qǐng)?jiān)斪x物質(zhì)安全資料表(MSDS)，并告知管理人。

3. 換酸前必先穿著防酸塑料裙，戴上防酸長(zhǎng)袖手套，頭戴護(hù)鏡，腳著塑料防酸鞋，始可進(jìn)行換酸工作。

4. 不得任意打開(kāi)酸瓶的蓋子，使用后立即鎖緊蓋子。

5. 稀釋酸液時(shí)，千萬(wàn)記得加酸于水，絕不可加水于酸。

6. 勿嘗任何化學(xué)藥品或以嗅覺(jué)來(lái)確定容器內(nèi)之藥品。

7. 不明容器內(nèi)為何種藥品時(shí)，切勿搖動(dòng)或倒置該容器。

8. 所有化學(xué)藥品之作業(yè)均須在通風(fēng)良好或排氣之處為之。

9. 操作各項(xiàng)酸液時(shí)須詳讀各操作規(guī)范。

10. 酸類(lèi)可與堿類(lèi)共同存于有抽風(fēng)設(shè)備的儲(chǔ)柜，但絕不可與有機(jī)溶劑存放在一起。

11. 廢酸請(qǐng)放入廢酸桶，不可任意傾倒，更不可與有機(jī)溶液混合。

12. 廢棄有機(jī)溶液置放入有機(jī)廢液桶內(nèi)，不可任意傾倒或倒入廢酸桶內(nèi)。

13. 勿任意更換容器內(nèi)溶液。

14.欲自行攜入之溶液請(qǐng)事先告知經(jīng)許可后方可攜入，如果欲自行攜入之溶液具有危險(xiǎn)性時(shí)，必須經(jīng)評(píng)估后方可攜入，并請(qǐng)于容器上清楚標(biāo)明容器內(nèi)容物及保存期限。

15. 廢液處理：廢液分酸、堿、氫氟酸、有機(jī)、等，分開(kāi)處理并登記，回收桶標(biāo)示清楚，廢液桶內(nèi)含氫氟酸等酸堿，絕對(duì)不可用手觸碰。

16.漏水或漏酸處理：漏水或漏酸時(shí)，為確保安全，絕對(duì)不可用手觸碰，先將電源總開(kāi)關(guān)與相關(guān)閥門(mén)關(guān)閉，再以無(wú)塵布或酸堿吸附器處理之，并報(bào)備管理人。

六、化學(xué)工作站操作

1. 操作時(shí)須依規(guī)定，戴上橡皮手套及口罩。

2. 不可將塑料盒放入酸槽或清洗槽中。

3. 添加任何溶液前，務(wù)必事先確認(rèn)容器內(nèi)溶劑方可添加。

4. 在化學(xué)工作站工作時(shí)應(yīng)養(yǎng)成良好工作姿勢(shì)，上身應(yīng)避免前傾至化學(xué)槽及清洗槽之上方，一方面可防止危險(xiǎn)發(fā)生，另一方面亦減少污染機(jī)會(huì)。

5. 化學(xué)站不操作時(shí)，有蓋者應(yīng)隨時(shí)將蓋蓋妥，清洗水槽之水開(kāi)關(guān)關(guān)上。

6. 化學(xué)藥品濺到衣服、皮膚、臉部、眼睛時(shí)，應(yīng)即用水沖洗濺傷部位15分鐘以 上，且必須皮膚顏色恢復(fù)正常為止，并立刻安排急救處理。

7. 化學(xué)品外泄時(shí)應(yīng)迅速反應(yīng)，并做適當(dāng)處理，若有需要撤離時(shí)應(yīng)依指示撤離。

8. 各化學(xué)工作站上使用之橡皮手套，避免觸碰各機(jī)臺(tái)及工作臺(tái)，及其它器具等物，一般操作請(qǐng)戴無(wú)塵手套。

七、RCA Method

1. DIWater 5min

2. H2SO4:H2O2=3:1 煮10~20min 75~85℃，去金屬、有機(jī)、油

3. DIWater 5min

4. HF:H2O 10~30sec，去自然氧化層(Native Oxide)

5. DIWater 5min

6. NH4OH:H2O2;H2O=1:1:5 煮10~20min 75~85℃，去金屬有機(jī)

7. DIWater 5min

8. HCl:H2O2:H2O=1:1:6 煮10~20min 75~85 ℃ 去離子

9. DIWater 5min

10. Spin Dry

八、清洗注意事項(xiàng)

1. 有水則先倒水，H2O2最后倒，數(shù)字比為體積比。

2. 有機(jī)與酸堿絕對(duì)不可混合，操作平臺(tái)也務(wù)必分開(kāi)使用。

3. 酸堿溶液等冷卻后倒入回收槽，并以DI Water沖玻璃杯5 min。

4. 酸堿空瓶以水清洗后，并依塑料瓶，玻璃瓶分開(kāi)置于室外回收筒。

5. 氫氟酸會(huì)腐蝕骨頭，若碰到立即用葡萄酸鈣加水涂抹，再用清水沖洗干凈，并就醫(yī)。碰到其它酸堿則立即以DI Water大量沖洗。

6. 清洗后之Wafer盡量放在DI Water中避免污染。

7. 簡(jiǎn)易清洗步驟為1-2-9-10；清洗SiO2步驟為1-2-10；清洗Al以HCl:H2O=1:1。

8. 去除正光阻步驟為1-2-10，或浸入ACE中以超音波振蕩。

9. 每個(gè)玻璃杯或槽都有特定要裝的溶液，蝕刻、清洗、電鍍、有機(jī)絕不能混合。

10. 廢液回收分酸、堿、氫氟酸、電鍍、有機(jī)五種，分開(kāi)回收并記錄，傾倒前先檢查廢棄物兼容性表，確定無(wú)誤再傾倒。

無(wú)塵室系統(tǒng)

使用操作方法

1. 首先打開(kāi)控制器面板上的【電熱運(yùn)轉(zhuǎn)】、【加壓風(fēng)車(chē)運(yùn)轉(zhuǎn)】、【浴塵室運(yùn)轉(zhuǎn)】、【排氣風(fēng)車(chē)運(yùn)轉(zhuǎn)】等開(kāi)關(guān)。

注意:

＊ 溫度控制器及濕度控制器可由黃色鈕調(diào)整，一般溫度控制為20℃ DB ，濕度控制為50% RH。

＊左側(cè)的控制器面板上電壓切換開(kāi)關(guān)為【RU】，電流切換開(kāi)關(guān)為【T】。右側(cè)的控制器面板上電壓切換開(kāi)關(guān)為【RS】，電流切換開(kāi)關(guān)為【OFF】。

2. 將箱型空氣調(diào)節(jié)機(jī)的送風(fēng)關(guān)關(guān)打開(kāi)，等送風(fēng)穩(wěn)定后再將冷氣暖氣開(kāi)關(guān)打開(kāi)，此時(shí)紅色燈會(huì)亮起，表示正常運(yùn)作。

注意:

＊ 冷氣的起動(dòng)順序?yàn)閴嚎s機(jī)【NO.2】。

＊ 溫度調(diào)節(jié)為指針指向紅色暖氣【5】。

＊ 分流開(kāi)關(guān)AIR VALVE 為【ON】。

3. 無(wú)塵室使用完畢后，要先將箱型空氣調(diào)節(jié)機(jī)關(guān)閉，按【停止】鍵即可。

4. 再將控制器面板上的【電熱運(yùn)轉(zhuǎn)】、【加壓風(fēng)車(chē)運(yùn)轉(zhuǎn)】、【浴塵室運(yùn)轉(zhuǎn)】、【排氣風(fēng)車(chē)運(yùn)轉(zhuǎn)】等開(kāi)關(guān)依序關(guān)閉。

氣體鋼瓶

使用操作方法

1. 用把手逆時(shí)針打開(kāi)氣體鋼瓶到底，將【OUTLET】打開(kāi)PURGE關(guān)閉。

2. 由黑色轉(zhuǎn)鈕調(diào)整氣體鋼瓶的壓力(psi)，順時(shí)針?lè)较驗(yàn)樵黾?，逆時(shí)針?lè)较驗(yàn)闇p少。

3. 將N2鋼瓶調(diào)整為40psi（黃光室內(nèi)為20psi）,AIR鋼瓶調(diào)整為80psi（黃光室內(nèi)為60psi）。

4. 氣體鋼瓶使用完畢后，用把手順時(shí)針關(guān)閉氣體鋼瓶到底，將【OUTLET】關(guān)閉【PURGE】打開(kāi)將管路內(nèi)的氣體排出后將【PURGE】關(guān)閉。

純水系統(tǒng)

使用操作方法

1. 閥門(mén)控制

(1) 閥門(mén)(VALVE)V1、V2、V3、V4、V6、V8、V10、V12、V13、V14、V16、V17、V19應(yīng)保持全開(kāi)。

(2) 閥門(mén)V5、V7、V11、V18、V21應(yīng)保持全關(guān)。

(3) 閥門(mén)V9、V20為調(diào)壓作用，不可全開(kāi)或全關(guān)。

(4) 閥門(mén)中V5為砂濾機(jī)之BY-PASS，V15為U.V燈之BY-PASS，V18為DI桶之BY-PASS，V21為RO膜之BY-PASS。

2. 自動(dòng)造水

步驟1：如上【閥門(mén)控制】將各球閥門(mén)開(kāi)關(guān)定位。

步驟2：控制箱上，各切換開(kāi)關(guān)保持在【OFF】位置。

步驟3：將控制箱上【系統(tǒng)運(yùn)轉(zhuǎn)】開(kāi)關(guān)切換至【ON】位置。

步驟4：電磁閥1 激活先做初期排放。

步驟5：電磁閥2 激活造水。

步驟6：此時(shí)，PUMP1、PUMP2依序激活，系統(tǒng)正常造水，RO產(chǎn)水經(jīng)管路進(jìn)入儲(chǔ)水桶(TANK)，當(dāng)水滿(mǎn)后控制箱上高液位指示燈亮，系統(tǒng)自動(dòng)停機(jī)，并于儲(chǔ)水桶水位下降至低液位時(shí)再激活造水。

3. 系統(tǒng)用水

將控制箱上之【夜間循環(huán)-停-用水】切換開(kāi)關(guān)切換至【用水】，此時(shí)PUMP3輸送泵浦激活，TANK內(nèi)之純水經(jīng)幫浦輸送至U.V、DI桶及精密過(guò)濾后，供現(xiàn)場(chǎng)各使用點(diǎn)使用。

4. 夜間循環(huán)

控制箱上之【夜間循環(huán)-停-用水】切換開(kāi)關(guān)，主要在配合每日下班或連續(xù)假日停止供水后管路之衛(wèi)生考慮，其步驟為:

(1) 停止供水59分鐘后，系統(tǒng)再自動(dòng)供水1分鐘。

(2) 此后每隔59分鐘供水循環(huán)1分鐘至夜間循環(huán)【?！繛橹?。

5. 系統(tǒng)偵測(cè)

本系統(tǒng)中附有各項(xiàng)壓力表、流量計(jì)及導(dǎo)電度計(jì)，作為系統(tǒng)運(yùn)轉(zhuǎn)之控制，其功能如下:

壓力表1：砂濾機(jī)進(jìn)水壓力

壓力表2：RO進(jìn)水壓力

壓力表3：RO排水壓力

壓力表4：DI進(jìn)水壓力

壓力表5：供水回流壓

流量計(jì)1：RO排水流量

流量計(jì)2：RO產(chǎn)水流量

另外，控制箱(機(jī)房)附有二段式LED導(dǎo)電度顯示屏，原水及產(chǎn)水分別切換顯示。

6. 系統(tǒng)維護(hù)

HF-RD系統(tǒng)，應(yīng)定期更新之耗材:

(1) 砂濾機(jī)應(yīng)定期逆時(shí)。

(2)預(yù)濾應(yīng)每1-2個(gè)月更新。

(3)膜管應(yīng)視其去除率及產(chǎn)水量做必要之清洗或更新。

(4)樹(shù)脂混床視比電阻值更新。

(5)精密過(guò)濾約每2-4個(gè)月更新。

7. 故障排除

現(xiàn) 象 可能因素 排除方法

系統(tǒng)停機(jī)、系統(tǒng)無(wú)法激活 1. 外電源異常2. 系統(tǒng)運(yùn)轉(zhuǎn)開(kāi)關(guān)未按下3. 系統(tǒng)電路故障4. 馬達(dá)/泵浦故障 1. 檢查系統(tǒng)電源電路2. 按下系統(tǒng)運(yùn)轉(zhuǎn)開(kāi)關(guān)3. 通知廠商4. 更新馬達(dá)/泵浦

低產(chǎn)水量 1. 膜管排水量太高2. 壓力不足3. 膜管阻塞 1. 調(diào)整排水閥V92. 清洗膜管或更新膜管

低比電阻 1. 樹(shù)脂功能下降2. RO去除率下降 1. 更換樹(shù)脂2. 更換RO膜組

光罩對(duì)準(zhǔn)機(jī)

使用操作方法

曝光機(jī)簡(jiǎn)介

在半導(dǎo)體制程中，涂布光阻后的芯片，須經(jīng)UV紫外光照射曝光顯影，此臺(tái)曝光機(jī)為OAI200系列，整合光罩對(duì)準(zhǔn)、UV紫外光曝光顯影、UV紫外光測(cè)量裝置及光罩夾持裝置。

OAI200系列為一入門(mén)型光罩對(duì)準(zhǔn)儀，可以手動(dòng)操作更改各項(xiàng)使用參數(shù)，如曝光時(shí)間、曝光強(qiáng)度及曝光功率等等。對(duì)于中高階的線寬有很好的顯影效果，此系列最大可使用四吋的芯片，最大的曝光功率為1KW。

曝光機(jī)使用步驟

1. 檢查氮?dú)怃撈俊碅IR 60psi〉〈N220psi〉以及黃光室的氮?dú)忾y、空氣閥是否有開(kāi)啟。開(kāi)啟曝光機(jī)下方延長(zhǎng)線的紅色總開(kāi)關(guān)，再開(kāi)啟曝光機(jī)、顯微鏡。

2. 接上隧道式抽風(fēng)馬達(dá)電源，進(jìn)行曝光機(jī)抽風(fēng)步驟，并檢查曝光機(jī)上方汞燈座后面進(jìn)風(fēng)口是否有進(jìn)氣。如果風(fēng)量微小或者無(wú)進(jìn)氣，則無(wú)法開(kāi)啟汞燈的電源〈會(huì)有警報(bào)聲〉。確定進(jìn)風(fēng)口有進(jìn)氣后，才可開(kāi)啟曝光機(jī)下方的汞燈電源供應(yīng)器ON/OFF開(kāi)關(guān)。

3. 按住汞燈電源供應(yīng)器之START鍵，約1~3秒鐘，此時(shí)電流值會(huì)上升〈代表汞燈點(diǎn)亮，開(kāi)始消耗電流〉，馬上放掉按鍵，汞燈即被點(diǎn)亮。

4. 汞燈點(diǎn)亮后，至少須待機(jī)30分鐘，使Lightsource系統(tǒng)穩(wěn)定。假使汞燈無(wú)法點(diǎn)亮，請(qǐng)不要作任何修護(hù)動(dòng)作。

5. 待系統(tǒng)穩(wěn)定后，把電源供應(yīng)器上的電壓、電流值填到紀(jì)錄表上，每一次開(kāi)燈使用都要登記作為紀(jì)錄。

6. 旋開(kāi)光罩夾具之螺絲，光罩之正面〈鍍鉻面〉朝下，對(duì)準(zhǔn)三個(gè)基準(zhǔn)點(diǎn)，壓下【MASKVAC.】鍵，使真空吸住光罩，再鎖好螺絲以固定光罩。

注意：

＊ MASK Holder 必須放下時(shí)才能放置光罩。扳動(dòng)【MASK FRAME UP/DOWN】可使MASKHolder升起或放下。

＊ 先用氮?dú)獯倒庹趾蚆ASK Holder，光罩正面朝下，對(duì)準(zhǔn)黑邊鐵框，手勿接觸光罩，壓下【MASKVAC.】鍵，使真空吸住光罩，鎖上旁邊兩個(gè)黑鐵邊。

＊ 檢查放置芯片的圓形基座CHUNK是否有比光罩低些，防止光罩壓破芯片。

7. 扳起【MASK FRAME UP/DOWN】鍵，使MASKHolder上升，放置芯片到CHUNK上，將【SUB VAC.】鍵扳至ON，使真空吸住芯片，扳下【MASK FRAMEUP/DOWN】鍵，使MASK Holder放下。

8. 扳動(dòng)臺(tái)邊鈕(Ball LockButton)為Unlock，順時(shí)針?lè)较蚵D(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)鈕(Z knob)，使芯片基座上升，直到傳動(dòng)皮帶感覺(jué)已拉緊即可，然后逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)ZKnob約15格，扳動(dòng)臺(tái)邊鈕(Ball Lock Button)為L(zhǎng)ock。

注意：

＊ Z knob 每格約15 microns。

＊ 逆時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)Zknob，會(huì)使放置芯片基座下降，其目的是為了作對(duì)準(zhǔn)時(shí)，讓芯片和光罩有些許的距離，使芯片與光罩不會(huì)直接摩擦。

＊ 若不須對(duì)準(zhǔn)時(shí)，可以不使用逆時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)Z knob。

＊ 旋轉(zhuǎn)Zknob時(shí)，不論順時(shí)針或逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，當(dāng)皮帶打滑時(shí)，代表芯片基座已和光罩接觸，此時(shí)不可逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，而導(dǎo)致內(nèi)部螺栓松脫。

＊ CHUNK ¨ Z ¨ ADJUST一般為15A~20 A之間，且電流越小皮帶越松。

9. 移動(dòng)顯微鏡座，至光罩上方，作芯片與光罩的對(duì)準(zhǔn)校正。如須調(diào)整芯片的位置，可使用芯片基座旁的微調(diào)桿，校正芯片座X、Y及θ。

10.

100 SEC

1000 SEC

RESET

EXPOSE

SEC

曝光機(jī)面板左側(cè)如下圖：

注意：

＊曝光秒數(shù)有兩種設(shè)定，一種為1000SEC，一種為100SEC。當(dāng)按下1000SEC時(shí)，計(jì)數(shù)器最大可設(shè)999秒的曝光時(shí)間；按下100SEC時(shí)，計(jì)數(shù)器最大可設(shè)99.9秒的曝光時(shí)間。

＊ 再設(shè)定曝光秒數(shù)時(shí)要先測(cè)量汞燈的亮度，先按LAMP TEST再按住把手上的按鈕移動(dòng)基座至曝光機(jī)左端底，后然將OAI 306 UVPOWERMETER放置于CHUNK上即可，完畢后按RESET，而且可多測(cè)幾個(gè)不同的位置，觀看汞燈的亮度是否均勻，所測(cè)得的單位為mw/cm2，乘時(shí)間(SEC)即變可mJ的單位。

11. 設(shè)定好曝光秒數(shù)后，即可進(jìn)行曝光的程序。扳動(dòng)【CONTACT VAC.】至ON，【N2 PURGE】至ON，則芯片和光罩之間會(huì)產(chǎn)生些許的真空。

注意:

＊【CONTACT VAC ADJUST】的范圍一般為紅色-25kpa 左右。

12. 按住把手上的按鈕，此時(shí)基座才可移動(dòng)，移至曝光機(jī)左端底，放開(kāi)按鈕，則曝光機(jī)會(huì)自動(dòng)進(jìn)行曝光的動(dòng)作。

13. 曝光完成后，即可將基座移回曝光機(jī)右端。扳動(dòng)扳動(dòng)【N2 PURGE】為OFF。再扳動(dòng)【CONTACTVAC.】至OFF，儀器會(huì)充氮?dú)馄乒庹峙c芯片間的真空，方便使用者拿出芯片。

14. 逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)Z knob，降下芯片基座至最低點(diǎn)。松開(kāi)光罩固定的黑邊鐵框，拉起【MASK VAC.】鈕，即可破除MASKHolder的真空，光罩即可取出。

15. 扳起【MASK FRAME UP/DOWN】為UP，使MASK Holder升起。扳動(dòng)【SUBVAC.】為OFF，使用芯片夾取出芯片，再扳【MASK FRAME UP/DOWN】為DOWN。

16. 如須進(jìn)行再一次的曝光，則可重復(fù)上述步驟。

17. 完成所有的曝光程序后，先關(guān)掉顯微鏡光源產(chǎn)生器，再關(guān)掉汞燈電源供應(yīng)器。〈關(guān)燈后一小時(shí)內(nèi)不可再開(kāi)啟汞燈，已延長(zhǎng)汞燈壽命〉

18. 先關(guān)隧道式抽風(fēng)馬達(dá)電源，關(guān)掉曝光機(jī)的開(kāi)關(guān)【SYSTEMON/OFF】為OFF，再關(guān)掉曝光機(jī)下方的延長(zhǎng)線總開(kāi)關(guān)。待曝光機(jī)冷卻后，最后再關(guān)掉墻上氮?dú)忾y及空氣閥。

熱蒸鍍機(jī)

使用操作方法

A.開(kāi)機(jī)步驟

1. 開(kāi)機(jī)器背面的總電源開(kāi)關(guān)。

2. 開(kāi)冷卻水，需先激活D.I Water 系統(tǒng)。

3. 開(kāi)RP，熱機(jī)2分鐘。

4. 開(kāi)三向閥切至F.V的位置，等2分鐘。

5. 開(kāi)DP，熱機(jī)30分鐘(熱機(jī)同時(shí)即可進(jìn)行Sample 之清洗與裝載，以節(jié)省時(shí)間)。

B.裝載

1. 開(kāi)Vent，進(jìn)氣之后立刻關(guān)閉。

2. 開(kāi)Chamber。

3. Loading Sample、Boat及金屬。

4. 以Shutter擋住Sample。

5. 關(guān)Chamber，關(guān)門(mén)時(shí)務(wù)必注意門(mén)是否密合，因機(jī)器年久失修，通常須用手壓緊門(mén)的右上角。

C.抽真空

1. 初抽

(1)三向閥切至R.V位置(最好每隔幾分鐘就切換到F.V一下，以免DP內(nèi)的幫浦油氣分子擴(kuò)散進(jìn)入chamber中)。

(2) 真空計(jì)VAP-5顯示至5′10-2 torr時(shí)三向閥切至F.V，等30秒。

2. 細(xì)抽

(1) M.V ON，記錄時(shí)間。

(2) ION GAUGE ON，壓下Fil 點(diǎn)燃燈絲(需要低于10-3 Torr以下才抽氣完成)。

D.蒸鍍

1. 壓力約2′10-5 Torr時(shí)，開(kāi)始加入液態(tài)氮。

2. 壓力低于2′10-6 Torr時(shí)，記錄壓力及抽氣時(shí)間并關(guān)掉ION GAUGE。

3. Heater Power ON (確定Power調(diào)整鈕歸零)。

4. 選擇BOAT1 or BOAT2。

5. 蒸鍍開(kāi)始，注意電流需慢慢增加。

注意:

＊ 鍍金時(shí)，儀表上電流約100A，鍍Al時(shí)電流可稍微小些，約70~80A。

＊ 當(dāng)BOAT高熱發(fā)出紅光時(shí)，應(yīng)立即關(guān)閉觀景窗，以免金屬附著在觀景窗的玻璃上。

＊ 空鍍幾秒將待鍍金屬表面清干凈后即可打開(kāi)Shutter，開(kāi)始蒸鍍。

＊ 蒸鍍完成后，立刻關(guān)閉HeaterPower，等10~15分鐘讓BOAT冷卻及蒸鍍后的金屬冷卻，避免立即和空氣接觸而氧化，才可vent破真空。

E.破真空

1. Substrate Hold溫度需要降至常溫。

2. ION GAUGE 【POWER】OFF。

3. M.V OFF。

4. DP OFF 冷卻30~60分鐘。

5. 開(kāi)Vent(進(jìn)氣后立刻關(guān)閉)。

6. 開(kāi)Chamber，取出Sample及BOAT。

7. 關(guān)Chamber，注意將門(mén)關(guān)緊。

F.關(guān)機(jī)

1. 關(guān)F.V。

2. 開(kāi)R.V，抽至0.01 Torr之后關(guān)閉。

3. 開(kāi)F.V，30秒后三向閥切至關(guān)閉之位置。

4. RP OFF。

5. 關(guān)總電源。

6. 關(guān)冷卻水。

7. 關(guān)氮?dú)狻?/p>

注意：

＊ 蒸鍍時(shí)，電流應(yīng)緩慢增大，且不可太大，以免金屬在瞬間大量氣化，使厚度不易控制。

＊ 若接續(xù)他人使用，液態(tài)氮可少灌一點(diǎn)兒，約三分之一筒即可。

氧化爐管

使用操作方法

氧化爐管簡(jiǎn)介

本實(shí)驗(yàn)室所采用之氧化爐管為L(zhǎng)enton LTF1200水平管狀式爐子，可放2英吋硅晶圓，加熱區(qū)大于50cm，最高溫度可達(dá)1200°C并可連續(xù)24hr，最大操作溫度為1150°C，溫控方式采用PID微電腦自動(dòng)溫度控制器。

目的

將硅芯片曝露在高溫且含氧的環(huán)境中一段時(shí)間后，我們可以在硅芯片的表面生長(zhǎng)一層與硅的附著性良好，且電性符合我們要求的絕緣體-SiO2。

注意:

＊在開(kāi)啟氧化爐之前，必須先確定【HEAT】Switch設(shè)定為【O】關(guān)閉的狀態(tài)。Switch在有電源供應(yīng)時(shí)【l】將會(huì)發(fā)光，而氧化爐也將開(kāi)始加熱。

＊如果過(guò)溫保護(hù)裝置是好的，請(qǐng)確定警報(bào)點(diǎn)的設(shè)定于目前的使用過(guò)程中為恰當(dāng)?shù)亍Ｈ绻^(guò)熱保護(hù)裝置是好的，蜂嗚器會(huì)有聲音，在過(guò)溫控制操作中有警報(bào)一致的程序。

＊ 為了改善石英玻璃管或襯套熱量的碰撞，其加熱速率最大不能超過(guò)3°C per min。

＊ 為了減少熱流失，必須確定正確的操作程序，適當(dāng)?shù)氖褂媒^緣栓和放射遮蔽可以密封石英玻璃管。

＊ 在操作氧化爐時(shí)不要在最大溫度下關(guān)閉氧化爐，以延長(zhǎng)氧化爐的壽命。

操作步驟:

1. 檢查前一次操作是否有異常問(wèn)題發(fā)生，并填寫(xiě)操作記錄。

2. 檢查機(jī)臺(tái)狀態(tài)

(1) 控制面板狀態(tài)：使用前先確定【HEAT】Switch設(shè)定為【O】關(guān)閉的狀態(tài)。

(2) 加熱控制器: Lenton LTF 1200溫度400°C，前后段爐溫差￡40°C。

(3) 氣體控制:H2【OFF】，O2 【OFF】。

3. 將芯片緩慢的推入爐管內(nèi)。

4. 打開(kāi)墻上H2、O2之開(kāi)關(guān)和機(jī)房的氣瓶調(diào)壓閥。

5. 設(shè)定預(yù)設(shè)氣體（H2 、O2）流量值及爐溫。

6. 按下【HEAT】Switch為【l】，此時(shí)爐溫將從恒溫(400°C)慢慢加熱至標(biāo)準(zhǔn)制程溫度1100°C，升溫速率最大不能超過(guò)3°C per min。

7. 待爐溫降至恒溫后將芯片取出。

8. 關(guān)閉H2、O2 。

9. 關(guān)閉爐管后端H2之開(kāi)關(guān)及墻上之開(kāi)關(guān)和機(jī)房的氣瓶調(diào)壓閥。

10. 檢查爐管是否完成關(guān)機(jī)動(dòng)作。

11. 填寫(xiě)操作記錄之終了時(shí)間和異常保護(hù)及說(shuō)明。

涂布機(jī)

使用操作方法

1. 首先將PUMP的電源插頭插入涂布機(jī)后面的電源插座。

2. 將涂布機(jī)的插頭插入110V的電源插座，然后按下【POWER】鍵。

3. 設(shè)定旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)速及時(shí)間，本機(jī)型為二段式加速的Spin Coating，右邊為第一段加速，左邊為第二段加速。

4. 依不同尺寸的基材，可更換不同的旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤(pán)做涂布的動(dòng)作。

5.按下【PUMP】鍵，此時(shí)旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤(pán)會(huì)吸住基材，然后將光阻依螺旋狀從基材中心均勻且慢慢的往外涂開(kāi)至適當(dāng)?shù)牧?，在做光阻涂開(kāi)動(dòng)作時(shí)可先用氮?dú)鈱⑿D(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤(pán)周?chē)盎拇蹈蓛簟?/p>

6. 蓋上涂布機(jī)的保護(hù)蓋，以防止光阻濺出涂布機(jī)外。

7. 按下【START】鍵，涂布機(jī)便開(kāi)始做涂布的動(dòng)作。

8. 涂布完畢后，打開(kāi)保護(hù)蓋，按下【PUMP】鍵旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤(pán)會(huì)放開(kāi)基材，便可以將基材取出。

熱風(fēng)循環(huán)烘箱

使用操作方法

1. 本機(jī)使用電壓110V/60HZ。

2. 確認(rèn)電壓后，將電源線插入110V的插座。

3. 打開(kāi)【POWER】開(kāi)關(guān)，此時(shí)溫度表PV即顯示箱內(nèi)實(shí)際溫度。

4. 首先按【SET】鍵?，SV會(huì)一直閃爍此時(shí)即可開(kāi)始設(shè)定溫度，而SV的字幕窗會(huì)呈現(xiàn)高亮度，在高亮度的位置可設(shè)定所需的溫度，只要再按【SET】鍵?高亮度會(huì)隨之移動(dòng)，在高亮度的地方即可設(shè)定溫度。

5. 按上移鍵▲表示溫度往上遞增，按下移鍵▼則溫度往下遞減。

6. 當(dāng)完成以上設(shè)定溫度之后(SV仍閃爍不停)此時(shí)只要按一次【ENT】鍵SV即呈現(xiàn)剛才所設(shè)定的溫度(PV顯示實(shí)際溫度)。

7. 加熱燈OUT顯示燈亮?xí)r表示機(jī)器正在加熱中，而到達(dá)設(shè)定點(diǎn)時(shí)OUT會(huì)一閃一爍(正?，F(xiàn)象)。

8. AT燈亮?xí)r表示溫度正自動(dòng)演算中。

9. ALM-1紅色燈亮?xí)r表示溫度過(guò)熱(溫度會(huì)自動(dòng)降溫)。

10. ALM-2紅色燈亮?xí)r表示溫度過(guò)低(溫度會(huì)自動(dòng)加溫)。

11. 溫度范圍:40℃~210℃。

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